Для оптических систем доставки излучения, где, с одной стороны, наиважнейшим требованием является достижение высоких параметров отражения, а с другой - их стабилизация в определенном диапазоне углов падения, мы предлагаем сканирующие зеркала. Они, как правило, изготавливаются по специальному дизайну, однако мы выделяем несколько типов, являющихся для нас стандартными. В подобных системах используются преимущественно два зеркала, которые позволяют изменять траекторию луча на плоскости в двух направлениях. Такие зеркала называются X и Y зеркала.
Основная спецификация:
| Материал |
КУ-1, Si |
| Общая ошибка на 633 нм |
λ/2 |
| Чистота поверхности |
3 класс оптической чистоты |
| Световой диаметр |
более 85% диаметра (габарита линзы) |
| Допуск на диаметр (габариты) |
+0/-0.25 мм |
| Допуск на толщину: |
+/-0.25 мм |
| Разнотолщинность по краю |
<=0.05 мм |
| Покрытие |
диэлектрическое, металло-диэлектрическое, металлическое |
| Порог повреждения |
2-5 Дж/см2 в зависимости от типа покрытия |
|
| № |
Модификация
|
Поперечные размеры, мм
|
Толщина, мм
|
Диапозон углов, угл.радиус
|
| A |
B |
| 1 |
X-зеркало |
18 |
11.5 |
1.5 |
45 |
| 2 |
Y-зеркало |
22 |
15.5 |
1.5 |
45 |
| 3 |
зеркало |
65 |
55 |
10 |
30-45 |
| 4 |
зеркало |
75 |
40 |
10 |
30-45 |
| 5 |
зеркало |
80 |
30 |
10 |
30-45 |
|
Ниже приведена типичная кривая отражения сканирующего зеркала:
Рис. 1 Сканирующее зеркало из Si, HR (R>99%)@1064 нм и (R>90%)@633 нм, AOI=45°.
